(1)裂紋。當(dāng)光束照射被檢測(cè)物表面，觀察到黑色或者亮色線(xiàn)條，且在一定的放大倍數(shù)下，線(xiàn)條有不規(guī)則邊緣時(shí)，判定為裂紋。當(dāng)裂紋較寬時(shí)，可測(cè)量探頭的測(cè)量影響線(xiàn)會(huì)發(fā)生彎折。
(2)起皮。當(dāng)光束平行照射時(shí)，觀察到在凸起部分背后有陰影；改變光束照射角度，則觀察到表面凸起部分與周?chē)粰z測(cè)物有明顯分界線(xiàn)，判定為起皮。
(3)拉線(xiàn)和劃痕。在光束照射下，觀察到表面存在較規(guī)則的連續(xù)長(zhǎng)線(xiàn)，判定為拉線(xiàn)。
(4)凹坑凸起。光束以一定角度照射時(shí)，與周?chē)粰z物邊界連接，無(wú)分界線(xiàn)。離光源近的部分有陰影，離光源遠(yuǎn)的地方有亮影，為凹坑。光束以一定角度照射時(shí)，與周?chē)粰z物邊界連接，無(wú)分界線(xiàn)。凸起部分有亮影，且背后陰影為凹坑。當(dāng)凹坑較深或凸起較高時(shí)，可測(cè)量探頭的測(cè)量線(xiàn)會(huì)發(fā)生彎折。
(5)斑點(diǎn)。在光束照射時(shí)，觀察到與周?chē)粰z物色澤不同的光滑無(wú)凹凸表面為斑點(diǎn)。